超高真空激光等离子体实验系统
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物流方式:
快递
产品细节
基本信息
物流方式:快递
商品介绍
• 系统的主要功能:实现超高真空工作条件下的激光加热样品,并使用高精度四极质谱仪进行测量
• 系统的主要组成部分:主要由双真空室组成,主要设备和组件包括:双真空室(即主真空室和样品准备室)、高真空插入阀门;加热脱附阶段;注入机构;快速开门和观察窗;电极真空通组件;四极质谱仪(QMS)气体分析仪;气体泄漏和气体储存容器;真空、温度测量单元;测量和控制柜
• 系统的主要技术指标:主室和注入室的泄漏率低于5E-10Pa3/s。主室的动态真空达到5.1E-7Pa,注入室的动态真空高达2.4E-6Pa
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