ディテール
配送方法:宅配
製品ディテール
• システムの主な機能:超真空作業条件下でレーザー加熱サンプルを実現し、高精度の四重極質量分析計を使用して測定する
• システムの主要構成要素:主に二重真空チャンバーで構成され、主要な機器および部品には、二重真空チャンバー(すなわち、主真空チャンバーおよびサンプル準備チャンバー)、高真空プラグバルブ、加熱脱着ステージ、注入機構、迅速な開閉ドアと窓、電極真空通過部品、四重極質量分析計(QMS)ガスアナライザー、ガス漏れおよびガス貯蔵容器、真空、温度計測セル、計測および制御キャビネットが含まれる
• システムの主な技術指標:主チャンバーおよび注入チャンバーの漏れ率は5E-10Pa3/s未満である。主チャンバーの動的真空度は5.1E-7Paに達し、注入チャンバーの動的真空度は2.4E-6Paに達する
• システムの主要構成要素:主に二重真空チャンバーで構成され、主要な機器および部品には、二重真空チャンバー(すなわち、主真空チャンバーおよびサンプル準備チャンバー)、高真空プラグバルブ、加熱脱着ステージ、注入機構、迅速な開閉ドアと窓、電極真空通過部品、四重極質量分析計(QMS)ガスアナライザー、ガス漏れおよびガス貯蔵容器、真空、温度計測セル、計測および制御キャビネットが含まれる
• システムの主な技術指標:主チャンバーおよび注入チャンバーの漏れ率は5E-10Pa3/s未満である。主チャンバーの動的真空度は5.1E-7Paに達し、注入チャンバーの動的真空度は2.4E-6Paに達する